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J-GLOBAL ID：202002219257571024   整理番号：20A0635390

局所バイアス電圧印加基板で捕集したカーボンダスト量に対する水素プラズマエッチングの効果

著者 (14件)： 立石瑞樹 (九大) ,  西山雄士 (九大) ,  森田康彦 (九大) ,  山下大輔 (九大) ,  鎌滝晋礼 (九大) ,  内田儀一郎 (九大) ,  SEO Hyunwoong (九大) ,  板垣奈穂 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  白谷正治 (九大) ,  芦川直子 (核融合科研) ,  増崎貴 (核融合科研) ,  西村清彦 (核融合科研) ,  相良明男 (核融合科研)
資料名： プラズマ・核融合学会年会(Web)  (プラズマ・核融合学会年会予稿集(Web))
巻： 29th  ページ： 27E45P (WEB ONLY)  発行年： 2012年 
JST資料番号： U1621A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： バイアス ,  電圧印加 ,  捕集 ,  カーボン ,  ダスト量 ,  水素プラズマ ,  エッチング