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J-GLOBAL ID：202002219651670260   整理番号：20A1325356

四面体非晶質炭素膜上に形成されたレーザ誘起黒鉛化周期的表面構造【JST・京大機械翻訳】

Laser-induced graphitized periodic surface structure formed on tetrahedral amorphous carbon films

著者 (7件)： Yasumaru Naoki (National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui 916-8507, Japan) ,  Sentoku Eisuke (National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui 916-8507, Japan) ,  Toya Takafumi (Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Tominaga Ryoya (Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Harigai Toru (Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Takikawa Hirofumi (Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Tanimoto Tsuyoshi (National Institute of Technology, Kochi College, Nankoku, Kochi 783-8508, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 107  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超硬,水素フリー四面体非晶質炭素(ta-C)膜上で観察したフェムト秒レーザ誘起周期的表面構造(LIPSS),黒鉛化および膨潤を調べ,水素化非晶質炭素(a-C:H)膜,窒化物膜およびガラス状炭素板と比較した。ta-C上のLIPSS生成の閾値フルエンスは,他の試料の約2倍であり,閾値近くのLIPSS周期Λは,約80nmで非常に微細であった。Λはフルエンスの増加とともに徐々に増加し,高フルエンスで約600nmまで急速に増加した。アブレーション速度はこのフルエンスで急速に増加した。さらに,ta-Cとa-C:Hは照射によって黒鉛化され,体積で膨張する。ta-C膜の表面層は,フルエンスが増加するにつれてナノ結晶グラファイトに変化し,結晶性は改善された。しかし,高フルエンスでは,結晶度は,低フルエンスの場合と突然類似した。高フルエンスでは,Λとアブレーション速度の急速な増加と結晶度の急激な劣化がこれらの無秩序炭素の一般的な現象として決定された。走査スポット照射による大面積にわたるLIPSS形成と膨潤は,絶縁表面に導電性と表面官能性を有するサブミクロン高さの平坦な丘を生成する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *表面構造 ,  膨潤 ,  *炭素 ,  *黒鉛化 ,  水素化 ,  グラファイト ,  結晶度 ,  ガラス状炭素 ,  アブレーション ,  フルエンス ,  導電性 ,  ナノ結晶 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *レーザ誘起 ,  *アモルファスカーボン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： フェムト秒レーザ加工 ,  レーザ誘起周期的表面構造 ,  黒鉛化 ,  膨潤 ,  四面体非晶質炭素 ,  ナノ結晶グラファイト

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 四面体非晶質炭素 ,  レーザ誘起 ,  黒鉛化 ,  表面構造