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J-GLOBAL ID：202002219950656951   整理番号：20A0844409

階層型微細機能構造創製に関する研究(第1報)-多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析-

著者 (5件)： 畚野剛瑠 (東大) ,  増井周造 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A01  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年マイクロ,ナノオーダの複雑で微細な表面構造が,特徴的な光学特性を有することから,非常に注目されている.本研究は階層的な表面微細機能構造について,その光学特性の解明と造形法の確立を目指すものである.本報では多重露光により干渉造形された表面構造を主に対象とし,複数個の正弦波の重ね合わせを用いてモデル化を行い,その光学特性を厳密結合波理論(RCWA)法によって解析した.(著者抄録)

シソーラス用語： *表面構造 ,  *階層構造系 ,  *微細加工 ,  *ホログラフィック格子 ,  *指針 ,  *モデリング ,  解析 ,  電磁場解析 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *ホログラフィック回折格子 ,  *設計指針 ,  理論解析 ,  RCWA【解析】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (2件)：

• D.C.Skigin, et al., “Diffraction by dual-period gratings.” Applied optics 46. 9 (2007): 1385-1391
• J.F.Lepage, et al., “Analysis of the diffractional properties of dual-period apodizing gratings: theoretical and experimental results.” Applied optics 43.17 (2004): 3504-3512

タイトルに関連する用語 (9件)： 階層 ,  創製 ,  研究 ,  多重 ,  定在波 ,  照明 ,  露光 ,  光学特性 ,  理論解析