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J-GLOBAL ID:202002220615575616   整理番号:20A0323193

発光分光法によるマグネトロンスパッタリング金属クラスタ源におけるクラスタ成長の解析

Analysis of Cluster Growth in Magnetron-sputtering Metal-cluster Source by Optical Emission Spectroscopy
著者 (3件):
資料名:
巻: 48  号: 12  ページ: 1537-1540(J-STAGE)  発行年: 2019年 
JST資料番号: U1704A  ISSN: 1348-0715  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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ターゲット金属として銀を用いることによりマグネトロンスパッタリングクラスタ源におけるクラスタ成長過程を調べた。放電プラズマの発光スペクトルを放電電圧の関数として銀クラスタカチオンの質量スペクトルと共に測定した。前者はスパッタした銀原子の数を定量化し,後者は生成したクラスタのサイズ分布を与えた。クラスタ成長のシナリオを簡単な統計モデルに基づいて議論した。(翻訳著者抄録)
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分類 (3件):
分類
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無機物質の物理分析一般  ,  原子・分子のクラスタ  ,  スパッタリング 
タイトルに関連する用語 (5件):
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