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J-GLOBAL ID：202002222205854008   整理番号：20A0124965

近赤外レーザ誘起背面湿式エッチングによる高アスペクト比チャネル作製【JST・京大機械翻訳】

High aspect ratio channel fabrication with near-infrared laser-induced backside wet etching

著者 (4件)： Kwon Kui-Kam (Seoul National University, 1 Kwanak-ro Kwanak-gu, Seoul, 08826, South Korea) ,  Kim Haan (Dongyang Mirae University, 445 Gyoungin-ro Guro-gu, Seoul, 08221, South Korea) ,  Kim Taekyum (Seoul National University, 1 Kwanak-ro Kwanak-gu, Seoul, 08826, South Korea) ,  Chu Chong Nam (Seoul National University, 1 Kwanak-ro Kwanak-gu, Seoul, 08826, South Korea)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 278  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ誘起背面湿式エッチング(LIBWE)は,ガラスの高アスペクト比微小特徴を作製するための最も有望な製造プロセスの一つである。しかし,高い熱応力によるLIBWEプロセス中のガラス内部の亀裂は製造可能な形状を制限する。本研究では,リン酸を吸収剤に添加することにより,近赤外(NIR)LIBWEプロセスにおける亀裂発生を防止する新しい技術を提案した。リン酸を含まない吸収剤と比較して,最大加工可能深さを約5倍増加させることができた。リン酸を添加した吸収剤における亀裂抑制機構の性質を,プロセスと化学分析のその場観察により調べた。リン酸を添加したLIBWEに及ぼすリン酸の影響を研究するために,最大加工可能深さ,製造速度および側壁粗さに及ぼすリン酸濃度の影響を研究した。研究した原理とプロセス特性に基づいて,異なる形状の高アスペクト比マイクロチャネルを製造できることを見出した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 生産工程 ,  表面粗さ ,  亀裂発生 ,  吸収剤 ,  *ウェットエッチング ,  リン酸 ,  *近赤外線 ,  化学分析 ,  チャネル ,  熱応力 ,  ガラス ,  マイクロチャネル ,  その場観察 ,  亀裂
準シソーラス用語： *レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザ誘起背面湿式エッチング(LIBWE) ,  ガラス ,  リン酸 ,  高アスペクト比 ,  マイクロチャネル

分類 (1件)： ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 近赤外レーザ ,  誘起 ,  背面 ,  湿式エッチング ,  高アスペクト比 ,  チャネル ,  作製