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J-GLOBAL ID：202002224678543118   整理番号：20A0916137

モノリシック集積マイクロオーブンを用いた広帯域幅弾性表面波ジャイロスコープの長期安定性の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigating Long-Term Stability of Wide Bandwidth Surface Acoustic Waves Gyroscopes Using a Monolithically Integrated Micro-Oven

著者 (3件)： Mahmoud Ashraf (Carnegie Mellon University,Pittsburgh,USA) ,  Mukherjee Tamal (Carnegie Mellon University,Pittsburgh,USA) ,  Piazza Gianluca (Carnegie Mellon University,Pittsburgh,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 252-254  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,オーブン化制御システムを用いた表面音響波ジャイロスコープ(SAWG)の長期安定性を調べる最初のものである。絶縁体基板上のニオブ酸リチウム(LNOI)上のSAW素子に隣接するMEMSヒータのモノリシック集積は,温度と周波数安定化のための加熱による周波数ベースの温度検出を強固に結合する。この最初のプロトタイプはSAWGの温度変化を±10μK以下に最小化し,SAWG共鳴周波数を±0.2ppmに安定化する能力を実証した。このアプローチはSAWGにおける熱ドリフトを除去し,長期安定性をもつMEMSベースジャイロスコープの新しい世代の開発を可能にする。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 加熱器 ,  *オーブン ,  *弾性表面波 ,  弾性表面波素子 ,  温度変動 ,  ニオブ酸リチウム ,  *広帯域 ,  *ジャイロスコープ ,  共振周波数 ,  ロバスト性 ,  プロトタイプ ,  MEMS ,  絶縁体
準シソーラス用語： 長期安定性 ,  *モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： モノリシック集積 ,  オーブン ,  帯域幅 ,  弾性表面波 ,  ジャイロスコープ ,  長期安定性 ,  研究