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J-GLOBAL ID：202002224710513089   整理番号：20A2501206

シリコンベーススロットマイクロミラーを用いた大きな動作帯域幅を有する光共振器【JST・京大機械翻訳】

Optical Cavity with Large Operational Bandwidth using Silicon-Based Slotted Micromirrors

著者 (6件)： Abdallah Mohab (German University in Cairo,Faculty of Information Engineering and Technology,Egypt) ,  Sabry Yasser (Ain-Shams University,Faculty of Engineering,Cairo,Egypt) ,  Mahfouz Ahmed (German University in Cairo,Faculty of Information Engineering and Technology,Egypt) ,  Marty Frederic (Universite ́ Paris-Est,ESIEE Paris, Laboratoire ESYCOM, CNRS FRE 2028,Marne-la-Valle ́e,France) ,  Bourouina Tarik (Universite ́ Paris-Est,ESIEE Paris, Laboratoire ESYCOM, CNRS FRE 2028,Marne-la-Valle ́e,France) ,  Omran Haitham (German University in Cairo,Faculty of Information Engineering and Technology,Egypt)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： NRSC  ページ： 222-229  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,二つのスロット付きマイクロミラーから成る新しいシリコンベース光マイクロ共振器のFDTDシミュレーションと実験結果を報告した。シリコンマイクロキャビティの正常範囲は1.1μm以下の吸収によって制限されるが,著者らは,テレコムCバンドまで可視スペクトルから動作できるシリコン空洞を実証した。深い反応性イオンエッチング(DRIE)を用いて,深くエッチングしたマイクロキャビティミラーを作製した。構造を金で金属化し,ミラーの反射率を強化した。スロット付き鏡と空洞構造を有限差分時間領域(FDTD)を用いてシミュレートし,結果は可視TM励起に対して2796の品質因子を示し,NIR TM励起に対して2346の品質因子を示した。実験結果は,共振器の特性を報告し,NIRと可視域での動作を検証した。測定した品質因子(Q)は,565nmピーク周辺の2067および1550nmピーク周辺の1922であった。このようなマイクロキャビティは,マイクロオプトフルイディック応用に対してシリコン上に可視レーザを実現するための主要なステップを示す。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 可視スペクトル ,  *共振器 ,  シミュレーション ,  反射率 ,  励起 ,  金 ,  *ケイ素 ,  可視レーザ ,  *帯域幅 ,  メタライゼーション ,  RIE【エッチング】 ,  有限差分時間領域法 ,  微小共振器
準シソーラス用語： 品質因子 ,  *マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 帯域幅 ,  光共振器