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J-GLOBAL ID：202002226055005171   整理番号：20A0495717

Alパッドおよびウエハ貯蔵におけるプローブマーカの変色【JST・京大機械翻訳】

The probe marker discoloration on Al pad and wafer storage

著者 (5件)： Hsieh W. F. (Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351) ,  Lin Henry (Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351) ,  Chen Vincent (Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351) ,  Ou Irene (Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351) ,  Lou Y. S. (Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： IPFA  ページ： 1-4  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では,ドーナツ/円形状を有するAlパッド上の新しいプローブ標識変色腐食を見出した。このプローブ標識変色腐食は青色テープの段階で見られた。ウエハプロセスをチェックするために,CPプロービング試験の前に明確な腐食は見られなかった。このプローブ標識変色腐食の微細構造と成分を同定するために,SEM/EDS,TEM/EELSおよびAES分析を適用した。これらの構造および表面分析結果は,この変色がアルミニウム,フッ素および酸素の組合せであることを示した。Alパッドの正常領域ではフッ化物は検出されなかった。これら全ての結果は,このプローブ標識変色腐食を誘導するためのフッ素元素の役割を示唆した。F元素の供給源はこの場合に重要であるので,試験と貯蔵条件はプローブ標識変色腐食の形成に重要であると思われる。温度130°CおよびRH85%の条件で21時間のHAST試験を行い,すべてのチップ試料を,N2キャビネット貯蔵またはMBBバッグ貯蔵なしで空気中に1年間曝露した。このHAST試験結果は,変色の展示や劣化がないことを示した。通常の完全ウエハFOSB貯蔵に基づくもう一つの貯蔵試験は,劣化した既存の変色チップを示した。このFOSB貯蔵試験は,腐食性F元素の供給源が,おそらくウエハ自身に由来することを示した。EDS元素マッピングデータは,ウエハの極端なエッジ領域におけるF元素富化Alパッドが明確に同定されたことを示した。F元素の源を見出した。そして,処理したウエハの貯蔵は変色腐食の形成において重要な役割を果たす。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *変色 ,  *アルミニウム ,  微細構造 ,  プローブ ,  フッ化物 ,  キャビネット ,  腐食 ,  フッ素 ,  表面分析 ,  パッド ,  酸素 ,  電子エネルギー損失分光法
準シソーラス用語： 元素マッピング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Al ,  パッド ,  ウエハ ,  貯蔵 ,  プローブ ,  マーカ ,  変色