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J-GLOBAL ID：202002227620067882   整理番号：20A0893667

サブミクロン単結晶金薄膜のその場FESEM観察引張・クリープ試験

In situ FESEM tensile/creep experiments in submicrometer-thick single-crystalline gold films

著者 (3件)： 近藤俊之 (大阪大) ,  高山篤史 (大阪大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
巻： 2019  ページ： ROMBUNNO.OS1007  発行年： 2019年11月01日 
JST資料番号： L0191B  ISSN： 2424-2845  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブミクロン単結晶金薄膜の引張およびクリープ特性の解明を目的として,膜厚が約300nmの大面積自立単結晶金薄膜から面内寸法がμmオーダーの微小試験片を集束イオンビーム装置を用いて作製し,これに対するその場電界放射型走査電子顕微鏡観察引張・クリープ試験を実施して,引張特性および数十時間にわたるクリープ変形の特性を評価した.(著者抄録)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  微粒子 ,  単結晶 ,  *金属薄膜 ,  引張 ,  *クリープ試験 ,  集束イオンビーム ,  マグネトロンスパッタリング ,  真空容器 ,  実験 ,  転位【結晶】
準シソーラス用語： FE-SEM ,  サブミクロン粒子 ,  引張特性 ,  電界放射型走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 金属材料  (HC02020X)

タイトルに関連する用語 (7件)： サブ ,  単結晶 ,  金薄膜 ,  FESEM ,  観察 ,  引張 ,  クリープ試験