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J-GLOBAL ID：202002227992759888   整理番号：20A2582478

DLC被覆上の周期的押込印象から得たRamanパラメータ間の関係【JST・京大機械翻訳】

Relationships between Raman parameters obtained from cyclic indentation impressions on DLC coatings

著者 (4件)： Takagawa Yuka (Department of Mechanodesign, Graduate School of KIT, Tokyo, Japan) ,  Nakamura Morimasa (Faculty of Science and Engineering, Doshisha University, Kyoto, Japan) ,  Miura Ken-ichi (Management and Planning Headquarters, Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology, Osaka, Japan) ,  Kobata Junpei (Research Division of Metal Finishing and Analysis, Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology, Osaka, Japan)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 52  号： 12  ページ： 859-863  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)被覆を,約107Nの垂直負荷の下で直径10mmのSi_3N_4球を用いて,周期的に3000から15000回,繰り返した。DLC被覆を,熱処理および研磨JIS SCM 415基板上に-200の基板バイアス電圧下,非平衡マグネトロン(UBM)スパッタリングによって調製した。SEM像とインデント印象のエネルギー分散X線分光(EDX)の結果は,Cr/C層または基板表面が印象上に部分的に明らかにされることを示した。繰返し押込後のDLC被覆の構造変化を推定するために,Raman分光法を印象で行った。1350cm-1付近の不規則ピークの強度比I(D)/I(G)と1580cm-1付近の黒鉛ピーク,およびGピーク(FWHM(G))の半値全幅(FWHM(G))のようなRamanパラメータ間の関係を,印象上のRaman分光法で評価した。I(D)/I(G)およびFWHM(G)の最大および最小による閉鎖領域を,この論文で「安全ゾーン」として定義し,そして,それを,DLC被覆の完全性を決定するために用いることができた。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 研磨 ,  スパッタリング ,  電圧 ,  クロム ,  *被覆 ,  マグネトロン ,  グラファイト ,  非平衡状態 ,  完全性 ,  X線分光法 ,  Raman分光法 ,  FWHM ,  構造変化 ,  *DLC被覆 ,  機械工作
準シソーラス用語： 基板バイアス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： DLC ,  印象 ,  押込試験 ,  完全性 ,  Raman

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  塩  (CD01050V) ,  界面化学一般  (CB12010J)

タイトルに関連する用語 (4件)： DLC被覆 ,  押込 ,  印象 ,  パラメータ