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J-GLOBAL ID：202002228419249431   整理番号：20A0873121

熱誘起カンチレバー共鳴周波数シフトに基づくMEMSガスフローセンサ【JST・京大機械翻訳】

MEMS Gas Flow Sensor Based on Thermally Induced Cantilever Resonance Frequency Shift

著者 (5件)： Blue Robert (Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.) ,  Brown James G. (Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.) ,  Li Lijie (Multidisciplinary Nanotechnology Centre, College of Engineering, Swansea University, Swansea, U.K) ,  Bauer Ralf (Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.) ,  Uttamchandani Deepak (Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 20  号： 8  ページ： 4139-4146  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,電気的に加熱されたMEMS三重ビーム共振器上でガスが流れる時に誘起される温度降下に依存する新しいMEMSガス流センサを報告した。センサのモデリング,シミュレーション及び特性化を行い,共振器の共振周波数の温度誘起シフトを定量化した。これは加熱共振器上の気体流の速度に直接関係する。MEMS共振器を,三重ビーム共振器の中心ビーム上に被覆した窒化アルミニウム(AlN)圧電層にAC電圧を印加することにより,機械的共振に作動させた。共鳴周波数の可逆的変化を5000ml/minまでの窒素流量で実験的に測定した。5V動作電圧において,実験から測定した線形応答適合は,0ml/分から4000ml/分までの流速範囲にわたり,Hz傾斜当たり67ml/分を得た。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 流速 ,  *MEMS ,  キャラクタリゼーション ,  共振 ,  気体流 ,  流量 ,  窒化アルミニウム ,  圧電気 ,  可逆変化 ,  センサ ,  窒素 ,  交流電圧 ,  *片持梁 ,  共振器 ,  *共振周波数

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘起 ,  カンチレバー ,  共鳴周波数 ,  シフト ,  MEMS ,  フローセンサ