文献

J-GLOBAL ID：202002230673088283   整理番号：20A2753987

熱拡散イメージング:広い温度範囲における薄膜の面内熱伝導率測定【JST・京大機械翻訳】

Heat diffusion imaging: In-plane thermal conductivity measurement of thin films in a broad temperature range

著者 (4件)： Zhu Tianhui (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Olson David H. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Hopkins Patrick E. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Zebarjadi Mona (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 91  号： 11  ページ： 113701-113701-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,熱拡散法の原理と熱反射測定のイメージング能力を組み合わせて,薄膜懸濁液または多重温度計堆積の必要のない薄膜の面内熱伝導率を測定した。熱拡散イメージングとしてこのハイブリッド技術を参照した。熱反射イメージングシステムは,膜表面を横切る温度分布マップを提供する。面内熱伝導率は温度減衰プロファイルから抽出できる。システムをクライオスタットと結合させることにより,40Kから400Kまで測定できた。周期的ホール有りと無しのシリコン薄膜試料を測定し,熱拡散イメージングの検証として面内時間領域熱反射測定および文献データと比較した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度計 ,  温度分布 ,  クライオスタット ,  懸濁液 ,  *熱伝導率 ,  *薄膜 ,  *画像処理 ,  多重化 ,  熱反射
準シソーラス用語： *拡散MRI ,  温度範囲 ,  時間領域 ,  イメージングシステム ,  シリコン薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 拡散イメージング ,  温度範囲 ,  薄膜 ,  熱伝導率測定