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J-GLOBAL ID：202002230937780284   整理番号：20A2227064

FEG-EPMA JEOL JXA-8530Fによる蒸着アルミニウムおよび銀層での定量的分析深さ分解能の測定【JST・京大機械翻訳】

Measurements of the quantitative analytical depth resolution at evaporated aluminium- and silver-layers with the FEG-EPMA JEOL JXA-8530F

著者 (2件)： Berger D (Technische Universitaet Berlin, Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie ZELMI, Strasse des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany) ,  Nissen J (Technische Universitaet Berlin, Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie ZELMI, Strasse des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 891  号： 1  ページ： 012004 (11pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,深さ分解能の系統的測定によりFEG-EPMAで達成できる定量的元素分析における空間分解能への一般的アプローチを拡張することである。試験片は,非蛍光基板の頂部に種々の厚さを有するAlとAg表面層である。適切なX線線を選択し,一次電子エネルギー,E_0を変えることによって,信号源体積の深さが層厚と同一であるE_0の最小値を決定した。この値は深さ分解能として定義した。特性X線の励起エネルギーに関して,定量的元素分析のための深さ分解能は,Al(K_αが3kV)とAg(L_αが5kV)に対して150nm以下であることが分かった。電子のイオン化範囲の計算またはモンテカルロ(MC)シミュレーションによる低一次電子エネルギーE_0における深さ分解能の予測は,測定と比較してより良い値の両方を予測するので,非常に不正確である。二次蛍光を乱さない試験試料に関して,計算およびシミュレーションの両者は,これまで未知の理由で,小信号源体積をあまりに予測しないことが明白である。同じ不一致が,以前の研究での横方向定量的分解能の決定で観察された。したがって,系統的測定誤差は除外できる。本論文で示した測定は,二次蛍光のない試験片のみを考慮したので,低い一次電子エネルギーE_0での計算とMCシミュレーションのさらなる改良に非常に有用である。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モンテカルロ法 ,  イオン化 ,  蛍光 ,  シミュレーション ,  *アルミニウム ,  *銀 ,  分解能 ,  表層 ,  元素分析 ,  *定量的分析 ,  固有X線 ,  励起エネルギー ,  層厚 ,  *蒸着
準シソーラス用語： 電子エネルギー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H) ,  分析機器  (CC02020S) ,  金属,合金の物理分析  (CC03040V)

タイトルに関連する用語 (6件)： EPMA ,  蒸着 ,  アルミニウム ,  銀 ,  定量的分析 ,  深さ分解能