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J-GLOBAL ID：202002231553943333   整理番号：20A2227481

3D印刷技術による電熱MEMSマイクロアクチュエータの設計と製作【JST・京大機械翻訳】

Design and fabrication of an electrothermal MEMS micro-actuator with 3D printing technology

著者 (1件)： Ulkir O (Department of Electronics and Automation, University of Mus Alparslan, 49210 Mus, Turkey)
資料名： Materials Research Express  (Materials Research Express)
巻： 7  号： 7  ページ： 075015 (15pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5570A  ISSN： 2053-1591  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,電熱マイクロ電気機械システム(MEMS)アクチュエータの設計と製作結果を示した。従来の一方向U形アクチュエータと異なり,この双方向電熱(BET)マイクロアクチュエータは,単一デバイスとして2方向に変位を発生できる。BETマイクロアクチュエータを2光子重合(2PP)とデジタル光処理(DLP)法を用いて作製し,それは3D印刷技術である。これらの方法を,BETマイクロアクチュエータ製造の成功を見るために比較した。これらの方法の化合物と3D印刷操作による必須係数を適用した。評価実験により,両方法において,3Dプリンタは,95.7μmサイズ特徴以下の材料を印刷できることを示した。同じ設計が2PPとDLP法に使用されたが,支持構造は2PPで生じなかった。BETマイクロアクチュエータは,2PPの元の設計から担体を除去することによって製造された。マイクロアクチュエータのアーム上の支持数,直径,高さは,それぞれ18,4μm,6μmであった。4μm直径の担体はDLPで製造できたが,2PPに基づく3D印刷デバイスでそれらを生産できなかった。さらに,DLPは非対称支持構造の製造に対して2PPより良いことが分かった。製造プロセスは2つの方法によって成功裏に行われた。製作の成功を比較すると,DLPで作製したマイクロアクチュエータの表面品質と製造速度は2PPより良い。現在の結果は,3D印刷技術の効率と2PPとDLPによるマイクロアクチュエータの製作の単純さを示した。ミクロアクチュエータの変位と入力電圧の間の関係を特性化するために,実験的研究を行った。実験結果は,マイクロアクチュエータの変位範囲がDLPで8μmであり,2PPで6μmであることを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *電気加熱 ,  表面性状 ,  重合 ,  非対称性 ,  アクチュエータ ,  ディジタル方式 ,  アーム ,  キャラクタリゼーション ,  生産工程 ,  マイクロアクチュエータ ,  *MEMS ,  3Dプリンタ
準シソーラス用語： 評価実験 ,  入力電圧 ,  *三次元印刷 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3D印刷 ,  電熱 ,  MEMS ,  マイクロアクチュエータ ,  設計 ,  製作