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J-GLOBAL ID：202002233900415708   整理番号：20A0284131

モード同期レーザーを用いた共焦点プローブ

著者 (5件)： 佐藤遼 (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  仲村拓 (東北大 大学院工学研究科) ,  松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 31  号： 2  ページ： 47-51  発行年： 2020年02月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,従来の共焦点プローブによる三次元形状計測の原理を紹介した後,光源にモード同期フェムト秒レーザーを用いることで光軸非走査測定・高分解能の両立を追求する新たな共焦点プローブについて紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *モード同期レーザ ,  形状測定 ,  *三次元測定 ,  *フェムト秒レーザ ,  *焦点 ,  *レーザビーム ,  共焦点顕微鏡 ,  *色収差 ,  光束 ,  光源
準シソーラス用語： 三次元形状計測 ,  *共焦点 ,  レーザ光 ,  光軸

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (3件)： モード同期レーザー ,  共焦点 ,  プローブ