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J-GLOBAL ID：202002234284651996   整理番号：20A2501607

金属-絶縁体-金属キャパシタのための定量的欠陥密度抽出法【JST・京大機械翻訳】

Quantitative defect density extraction method for metal-insulator-metal capacitor
著者 (6件)：
Kang Soo Cheol

Kang Soo Cheol について

( Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea)

Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea について

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Kang Soo Cheol

Kang Soo Cheol について

( DMC Convergence Research Department, Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI), Daejeon 34129, Republic of Korea)

DMC Convergence Research Department, Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI), Daejeon 34129, Republic of Korea について

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Lee Sang Kyung

Lee Sang Kyung について

( Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea)

Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea について

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Kim Seung Mo

Kim Seung Mo について

( Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea)

Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea について

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Hwang Hyeon Jun

Hwang Hyeon Jun について

( Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea)

Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea について

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Lee Byoung Hun

Lee Byoung Hun について

( Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea)

Center for Emerging Electric Devices and Systems (CEEDS), School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Gwangju 61005, Republic of Korea について


資料名：
Semiconductor Science and Technology  (Semiconductor Science and Technology)

Semiconductor Science and Technology について


巻： 35  号： 11  ページ： 115025 (4pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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金属-絶縁体-金属キャパシタのトラップ密度を定量的に抽出できる新しい方法を提案し,静電容量-周波数曲線の勾配の差を用いて,1018cm-3eV-1のオーダーで界面トラップ密度の差を比較した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*コンデンサ

コンデンサ について

, 
静電容量

静電容量 について

, 
*欠陥密度

欠陥密度 について

, 
*絶縁体

絶縁体 について


準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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界面トラップ

界面トラップ について

, 
トラップ密度

トラップ密度 について

, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件)：
分類
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金属-絶縁体-半導体構造 
(BM03085X)

金属-絶縁体-半導体構造 について

,  LCR部品 
(NA05030D)

LCR部品 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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絶縁体

絶縁体 について

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キャパシタ

キャパシタ について

, 
定量

定量 について

, 
欠陥密度

欠陥密度 について

, 
抽出法

抽出法 について


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