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J-GLOBAL ID：202002235007394886   整理番号：20A1414937

トポタクチック酸化を用いたAlドープZnOシード層を有するマグネトロンスパッタVO_2薄膜の集合組織と相制御【JST・京大機械翻訳】

Texture and phase control of magnetron-sputtered VO₂ thin films with an Al-doped ZnO seed layer using topotactic oxidization

著者 (4件)： Nomoto Junichi (Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan) ,  Yamaguchi Iwao (Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan) ,  Nakajima Tomohiko (Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan) ,  Tsuchiya Tetsuo (Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 394  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlドープZnO(AZO)薄膜とトポタクチック酸化を用いて,明確な(010)配向を有する化学量論的VO_2膜を作製する方法を開発した。AZOシード層をラジオ周波数マグネトロンスパッタリング(RF-MS)によりガラス基板上に調製し,次にRF-MSによりAZO膜上にV_2O_3膜を堆積させた。最後に,V_2O_3膜をポストアニールし,V_2O_3相をVO_2相に変換するために空気中でトポタクチック酸化を行った。AZOシード層はV_2O_3をVO_2に変換したが,結晶方位を維持した。結果的に,遷移の前後において,2000nmの波長で64.3%の光透過率の大きな変化と共に,1.55×103倍の電気抵抗率の大きな変化を伴う200nm厚さのVO_2膜を,AZOシード層とトポタクチック酸化との組み合わせによって首尾よく得た。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *酸化 ,  *集合組織 ,  電気抵抗率 ,  *薄膜 ,  結晶方位 ,  波長 ,  *酸化亜鉛 ,  化学量論 ,  薄膜成長 ,  ガラス基板 ,  光透過率
準シソーラス用語： *シード層 ,  ポストアニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 相転移 ,  結晶学的集合組織 ,  VO_2 ,  マグネトロンスパッタリング ,  熱アニーリング ,  シード層 ,  ZnO

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化 ,  AlドープZnO ,  シード層 ,  マグネトロンスパッタ ,  薄膜 ,  集合組織