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J-GLOBAL ID：202002235020297546   整理番号：20A1060006

同期ビームと平面アクチュエーションを用いたMEMSバタフライ共振器の設計と開発【JST・京大機械翻訳】

Design and development of a MEMS butterfly resonator using synchronizing beam and out of plane actuation

著者 (2件)： Khan Nabeel (Micro/Nano-Mechatronics Laboratory, University of Windsor, Windsor, ON, Canada) ,  Ahamed Mohammed Jalal (Micro/Nano-Mechatronics Laboratory, University of Windsor, Windsor, ON, Canada)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 26  号： 5  ページ： 1643-1652  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,ジャイロスコープ応用のためのバタフライ共振器の機械的感度を最大化するためのビームモデリング技術を提示した。バタフライ共振器の翼を接続する同期ビームの幾何学的側面を調べた。結果は,同期ビームにおける幾何学的変化が,素子の周波数分割と感度に大きな影響を及ぼすことを示した。モデルシミュレーションは,最適化同期ビームから生じる10Hzの周波数分割に対する[数式:原文を参照][数式:原文を参照]の感度を示した。平面作動から,共振器変位を駆動し,感知するために開発した。製作したバタフライ共振器を試験し,実験結果は305Hzと400Hzの周波数分割を示し,一方,モデルはそれぞれ195Hzと330Hzの分割を示した。本論文で提示した設計と解析は,慣性センシング応用のためのMEMSバタフライ共振器の開発をさらに助けることができる。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  最適化 ,  周波数逓降 ,  ジャイロスコープ ,  *MEMS

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ビーム ,  MEMS ,  バタフライ ,  共振器 ,  設計 ,  開発