文献

J-GLOBAL ID：202002236112906239   整理番号：20A0844453

集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱(第4報)-深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性-

Deep Ultraviolet Raman study of subsurface damage on single crystalline diamond by Ga ion irradiation (4th report)-Oxygen concentration dependence of the etching of subsurface damaged layer by deep ultraviolet light irradiation-

著者 (6件)： HAFIZIE Afzahrul (秋田大) ,  神津知己 (秋田大) ,  山口誠 (秋田大) ,  川堰宣隆 ,  森田昇 (千葉大) ,  西村一仁 (工学院大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B04  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される.本研究では,顕微ラマン分光法を用いて,深紫外光照射による加工変質層の構造変化の過程に着目する.酸素雰囲気中において深紫外線照射することによって,加工変質層のエッチングが観測される.その酸素濃度依存がエッチング速度に影響を及ぼすことを明らかにした.発表では,深紫外光照射による加工変質層の構造変化のプロセスについて,およびエッチング後の表面構造について考察する.(著者抄録)

シソーラス用語： *超精密加工 ,  *ダイヤモンド工具 ,  *加工変質層 ,  *集束イオンビーム ,  *表面 ,  *変化 ,  エッチング ,  濃度依存性 ,  分光分析 ,  検証
準シソーラス用語： *構造変化 ,  酸素濃度 ,  実験検証

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (7件)：

• N. Kawasegi et al.: Prec. Eng. 38 (2014) 174.
• N. Kawasegi et al.: Diam. Relate. Mater., 49 (2014) 14.
• N. Kawasegi et al., Prec. Eng., 47 (2017) 311.
• 笹岡ほか:砥粒加工学会誌,56, 1 (2012) 40.
• 山口ほか:精密工学会秋季大会講演論文集,I64 (2015) pp. 549-550

タイトルに関連する用語 (9件)： 集束イオンビーム ,  単結晶ダイヤモンド ,  変質 ,  深紫外 ,  ラマン散乱 ,  光照射 ,  スペクトル ,  酸素 ,  濃度依存性