文献

J-GLOBAL ID：202002239789939396   整理番号：20A0450481

同軸透過暗視野顕微鏡による3D欠陥分布検出【JST・京大機械翻訳】

3D defect distribution detection by coaxial transmission dark-field microscopy

著者 (4件)： Li Lulu (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Liu Qian (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Zhang Hui (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Huang Wen (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 127  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高性能光学は透明光学部品(TOCs)の欠陥制御に厳しい要求を与える。TOCsの表面と内部欠陥を正確に確実に検出するために,本論文では,同軸透過暗視野(CTDF)顕微鏡に基づく三次元(3D)欠陥分布検出法を提案した。照明と画像化光路は同軸で,顕微鏡目的の前のハイパスフィルタを適用して,欠陥画像上の照明背景光を除去し,画像コントラストを改善した。顕微鏡目的の焦点の有限深さ(DOF)に基づいて,欠陥の焦点面位置を軸方向光強度解析によって決定することができて,三次元欠陥分布再構成を実行した。シミュレーションと実験は,この方法が高コントラスト欠陥イメージングを実現することができて,TOCsの表面と内部欠陥の3D分布を検出する能力を有することを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 内部欠陥 ,  検出法 ,  照明 ,  画像処理 ,  故障検出 ,  再構成 ,  *三次元 ,  高域フィルタ ,  軸方向
準シソーラス用語： 焦点面 ,  画像コントラスト ,  画像化 ,  *暗視野 ,  光学部品 ,  *暗視野顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 暗視野顕微鏡 ,  欠陥検出 ,  3D分布再構成 ,  照明された背景光 ,  軸方向光強度解析

分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 同軸 ,  透過 ,  暗視野顕微鏡 ,  3D ,  欠陥 ,  分布