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J-GLOBAL ID：202002240213591507   整理番号：20A1192382

Arガスクラスタイオンビームスパッタ収集法を用いた有機超薄層の構造解析【JST・京大機械翻訳】

Structural analysis of organic ultrathin-layer by using Ar-gas-cluster ion beam sputter collecting method

著者 (4件)： Noda Hiroyuki (Analysis Technology Center, Research & Development Management Headquarters, FUJIFILM Corporation, 210, Nakanuma, Minamiashigara-shi, Kanagawa 250-0193, Japan) ,  Sasaki Yoshiteru (Analysis Technology Center, Research & Development Management Headquarters, FUJIFILM Corporation, 210, Nakanuma, Minamiashigara-shi, Kanagawa 250-0193, Japan) ,  Murai Daigo (Analysis Technology Center, Research & Development Management Headquarters, FUJIFILM Corporation, 210, Nakanuma, Minamiashigara-shi, Kanagawa 250-0193, Japan) ,  Hachiya Masaki (Analysis Technology Center, Research & Development Management Headquarters, FUJIFILM Corporation, 210, Nakanuma, Minamiashigara-shi, Kanagawa 250-0193, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 38  号： 3  ページ： 034003-034003-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Arガスクラスタイオンビーム(GCIB)スパッタ捕集法を開発し,高分子薄層の多重有機分析法に適用した。この方法を用いることにより,ポリエチレンテレフタレート基板膜上のポリビニルピロリドン薄層(50nm厚)を選択的に収集し,熱分解-ガスクロマトグラフィー-質量分析により分析した。さらに,マトリックス支援レーザ脱離/イオン化質量分析によりポリメタクリル酸メチル(PMMA)薄層(50nm厚)の分子量分布分析にも適用し,収集PMMA高分子の分子量はわずかに低く,収集PMMAの分子量の低下はGCIB加速電圧の増加と共に減少する傾向を示した。この現象は,Ar-GCIBスパッタリング過程の第一と第二の間の損傷に差があり,第二の衝撃領域は低電圧よりも相対的に大きく,収集した高分子の損傷はGCIBの高い加速電圧において比較的小さいことを示した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 衝撃 ,  スパッタリング ,  熱分解 ,  *薄膜 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  分子量 ,  分子量分布 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  高分子 ,  多重化 ,  有機分析 ,  GC-MS分析 ,  MALDI-MS
準シソーラス用語： 低電圧 ,  *ガスクラスターイオンビーム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Arガス ,  クラスタ ,  イオンビームスパッタ ,  収集 ,  薄層 ,  構造解析