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J-GLOBAL ID：202002240758369638   整理番号：20A1812255

LC-MEMS圧力センサのための平面マイクロコイルの製作【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of Planar Microcoils for LC-MEMS Pressure Sensor

著者 (5件)： Yusof Norliana (Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia) ,  Bais Badariah (Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia) ,  Soin Norhayati (University of Malaya,Department of Electrical Engineering,50603 Kuala Lumpur,Malaysia) ,  Buyong Muhamad Ramdzan (Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia) ,  Majlis Burhanuddin Yeop (Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： ICSE  ページ： 164-167  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,LC-MEMS圧力センサ応用のための小規模平面マイクロコイルの設計と製作について述べた。MEMS製造に基づく簡単なプロセスフローを提示し,処理の重要な側面を議論した。作製したマイクロコイルを形態学的および電気的に特性化した。製作したマイクロコイルで行ったキャラクタリゼーションは,アルミニウムが端から端接触までの痕跡が,高い導電性と良好な接続を示した。マイクロコイルのインダクタンス,抵抗および品質因子(Q因子)値を,1MHz動作周波数において,それぞれ2.49μH,58.4Ωおよび0.27で測定した。正方形平面マイクロコイルを首尾よく製作し,将来のLC-MEMS圧力センサ応用に適用できる。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： インダクタンス ,  アルミニウム ,  Q値 ,  キャラクタリゼーション ,  圧力センサ ,  導電性 ,  モルフォロジー ,  *MEMS
準シソーラス用語： 品質因子 ,  マイクロコイル ,  動作周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 音声処理  (JE05000E) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  符号理論  (ND02030R) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  圧力センサ ,  マイクロコイル ,  製作