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J-GLOBAL ID：202002242103916425   整理番号：20A0528719

メタンとアセチレンを用いたハイブリッドPVD-PECVD法により調製した硬質W-C:H被覆における水素化とハイブリッド化【JST・京大機械翻訳】

Hydrogenation and hybridization in hard W-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD method with methane and acetylene

著者 (4件)： Lofaj Frantisek (Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia) ,  Kabatova Margita (Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia) ,  Dobrovodsky Jozef (Advanced Technologies Research Institute, Faculty of Materials Science and Technology in Trnava, Slovak University of Technology in Bratislava, J. Bottu 25, 91724 Trnava, Slovakia) ,  Cempura Grzegorz (International Centre of Electron Microscopy for Materials Science, AGH University of Science and Technology, al. A. Mickiewicza 30, 30059 Krakow, Poland)
資料名： International Journal of Refractory Metals & Hard Materials  (International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 88  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0059B  ISSN： 0263-4368  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ重合プロセス,炭素マトリックス含有量,そのハイブリッド化,水素化および硬度に及ぼすDCMSおよびHiPIMSによって駆動されたハイブリッドPVD-PECVD W-C:Hコーティングにおけるメタンおよびアセチレン添加の影響を調べ,炭化水素ガスタイプおよびスパッタリング法に関連する多数の違いを明らかにした。炭化水素前駆体中の水素と炭素の濃度比と炭素相の含有量の間の密接な相関,その水素化とハイブリダイゼーションを確立した。これらのパラメータの各々の増加は,CC鎖間の架橋を犠牲にして,CHに対するσ結合の消費により,硬度に有害な影響を及ぼした。HIPIMSとアセチレンは,ハイブリッドPVD-PECVD領域内のW-C:H被覆において最も高い硬度(~20GPa)を与えることが分かった。これはおそらく,炭素相のハイブリッド化,水素化および架橋の最良の組合せに起因している可能性がある。異なる炭化水素前駆体とスパッタリング法によるハイブリッドPVD-PECVDの間のW-C:H被覆の成長機構の定性的モデルを提案した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *水素化 ,  硬質 ,  *プラズマCVD ,  *被覆 ,  *水素 ,  炭化水素 ,  硬度 ,  炭素 ,  前駆体 ,  スパッタ蒸着 ,  プラズマ重合 ,  炭化水素ガス ,  アルキン ,  アルカン
準シソーラス用語： σ結合 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ハイブリッドPVD-PECVD ,  W-C:Hコーティング ,  高出力インパルスマグネトロンスパッタリング ,  水素化 ,  ハイブリダイゼーション ,  硬さ

分類 (3件)： 圧粉,焼結  (WC02030X) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  メタン

タイトルに関連する用語 (8件)： メタン ,  アセチレン ,  PVD ,  PECVD ,  調製 ,  硬質 ,  水素化 ,  ハイブリッド化