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J-GLOBAL ID:202002242466312481   整理番号:20A2437026

コロナ電流測定による非接触型抵抗測定法の検討

著者 (3件):
資料名:
巻: 2020  ページ: ROMBUNNO.N02  発行年: 2020年08月27日 
JST資料番号: L1767B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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1.はじめに.半導体の性能の1つにキャリア密度があり,2探針法や4探針法など,電極を接触させて電流を流し,抵抗を測定することで評価する。しかし,電極の接触が測定物の表面を破損させる恐れがあり,表面に凸凹があるときには接触面積の微妙な違いによ...【本文一部表示】
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分類 (1件):
分類
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気体放電 
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