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J-GLOBAL ID：202002242548845474   整理番号：20A2251218

工業用Qスイッチパルスレーザエッチングアルミニウム膜に基づく多方向摩擦電気ナノ発電機【JST・京大機械翻訳】

Multi-directional triboelectric nanogenerator based on industrial Q-switched pulsed laser etched Aluminum film

著者 (7件)： Phan Hai (Faculty of Engineering Physics and Nanotechnology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Phan Hai (VNU Key Laboratory for Micro and Nano Technology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Hoa P.N. (VNU Key Laboratory for Micro and Nano Technology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Tam H.A. (VNU Key Laboratory for Micro and Nano Technology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Thang P.D. (Faculty of Engineering Physics and Nanotechnology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Thang P.D. (VNU Key Laboratory for Micro and Nano Technology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam) ,  Duc N.H. (VNU Key Laboratory for Micro and Nano Technology, University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi, Vietnam)
資料名： Extreme Mechanics Letters  (Extreme Mechanics Letters)
巻： 40  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3055A  ISSN： 2352-4316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 簡単な工業技術に基づいて,0.42mWの電力を有する多方向ばね支援摩擦電気ナノ発電機(SA-TENG)を作製することに成功した。ここでは,Qスイッチパルスレーザ(QSL)を適用してアルミニウム膜表面をエッチングした。20μmの溝間の距離に垂直な溝系を有するマイクロナノ構造表面を作製することができた。しかし,ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)薄膜では,表面を誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング技術(ICP-RIE)によって改質した。Al/PTFEデバイスの摩擦電気性能の向上におけるQSLエッチングアルミニウムの役割を実証した。実際,Al表面が処理されると,開回路電圧と短絡電流は,それぞれ80Vから130Vと3.9μAから6.6μAに増加した。垂直振動運転モードにおいて,SA-TENGは,平均速度10cm/sで,それぞれ,66V,5.1μAおよび350μWの電圧,電流および電力を生成した。さらに,30°の回転角と30deg/sの角速度を有する水平回転モードは,57Vの開回路電圧,4.4μAの短絡電流,および107Ωで64μWの電力を発生する。SA-TENGのリアルタイム実用可能性を,直列に接続した92LEDの照明と,35sで2.5Vまでの10μFキャパシタの充電によって確かめた。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： コンデンサ ,  電圧 ,  電流 ,  *摩擦電気 ,  電力 ,  *アルミニウム ,  短絡電流 ,  *パルスレーザ ,  角速度 ,  誘導結合プラズマ ,  RIE【エッチング】 ,  ナノ構造 ,  運転モード
準シソーラス用語： 開回路電圧 ,  *ナノ発電機 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Qスイッチパルスレーザファイバ ,  摩擦電気ナノ発電機 ,  ばね支援 ,  マイクロナノ構造表面 ,  多方向

分類 (1件)： その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (8件)： 工業 ,  Qスイッチ ,  パルス ,  レーザエッチング ,  アルミニウム膜 ,  多方向 ,  摩擦電気 ,  ナノ発電機