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J-GLOBAL ID：202002242724022420   整理番号：20A0546522

プラズマ発光分光法による溶融シリカ内の水素プラズマ誘起欠陥形成のインラインモニタリング【JST・京大機械翻訳】

Inline monitoring of hydrogenous plasma-induced defect formation within fused silica via plasma emission spectroscopy

著者 (4件)： Gerhard Christoph (Fakultaet Naturwissenschaften und Technik, Hochschule fuer Angewandte Wissenschaft und Kunst, Gottingen, Germany) ,  Letien Emilie (Departement Mesures Physiques, Institut Universitaire de Technologie A de Lille, Villeneuve d’Ascq Cedex, France) ,  Cressent Thomas (Departement Chimie, Institut Universitaire de Technologie A de Lille, Villeneuve d’Ascq Cedex, France) ,  Hofmann Mandy (Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften, Technische Hochschule Wildau, Wildau, Germany)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 126  号： 3  ページ： 165  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,プラズマ発光分光法による溶融シリカ内のプラズマ誘起欠陥形成の間接的モニタリングを示した。プロセスガスとしての水素による低圧プラズマ処理は溶融シリカのUV透過を減少させることを示した。この減少は,酸素空孔関連欠陥と二酸化ケイ素ガラスネットワーク内の水素の存在に直接起因する。プラズマ組成の解析により,プラズマ内の酸素量は処理時間の増加と共に増加することが観察された。したがって,酸素はプラズマ処理の過程でガラスネットワークから連続的に放出された。さらに,この放出は,最も低いプロセス効率が最も高いプラズマパワーで起こるプラズマパワーに強く依存することが観察された。プラズマパワーの増加は,作動ガス,水素からの発光の顕著な増加をもたらすことを示した。この観察は,プラズマの励起とイオン化の程度が高いほど,プラズマ誘起の酸素欠陥の形成の効率が低いことを示している。この知見は,プラズマ誘起表面改質と被覆プロセスのより良い理解のために,非常に良い関連性がある。Copyright The Author(s) 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 加工時間 ,  被覆 ,  酸素 ,  *水素 ,  *石英ガラス ,  低圧 ,  光学的性質 ,  *発光分光法 ,  ガラス ,  二酸化ケイ素 ,  プラズマ処理 ,  ネットワーク ,  *プラズマ ,  イオン化
準シソーラス用語： 酸素空格子点 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 溶融シリカ ,  光学的性質 ,  酸素欠乏症 ,  ガラス欠陥 ,  プラズマ処理 ,  プラズマ発光分光法

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  発光分光法 ,  溶融シリカ ,  水素プラズマ ,  誘起 ,  欠陥形成 ,  インライン ,  モニタリング