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J-GLOBAL ID:202002242730327205   整理番号:20A0185454

環状開口を備えた静電補正システムの特性

Properties of electrostatic correcting systems with annular apertures
著者 (3件):
資料名:
巻: 68  号:ページ: 457-466  発行年: 2019年12月 
JST資料番号: W1384A  ISSN: 2050-5698  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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・円形の穴と環状の開口部を備えた電子顕微鏡での画像形成を理論的に研究。
・環状開口部に対して負の円形孔開口部は,光軸に向けられた電子に力を加える追加の静電界を生成。
・結果として生じる偏向角は,光軸からの距離が増加するにつれて減少。
・この静電界は,円形電子レンズの球面収差を補正。
・円形の穴と環状の開口部の補正効果の解析式を提供。
・式は,単純な静電レンズの焦点距離を計算するために使用されるDavisson-Calbickの式を使用。
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分類 (1件):
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
タイトルに関連する用語 (2件):
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