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J-GLOBAL ID：202002246160990092   整理番号：20A1488641

間欠的電流パルス下の金属-誘電体構造の信頼性【JST・京大機械翻訳】

Reliability of Metal-Dielectric Structures Under Intermittent Current Pulsing

著者 (6件)： Lee C-S. (Purdue University,Department of Mechanical Engineering,West Lafayette,IN,USA) ,  Vaitheeswaran P. (Purdue University,Department of Mechanical Engineering,West Lafayette,IN,USA) ,  Subbarayan G. (Purdue University,Department of Mechanical Engineering,West Lafayette,IN,USA) ,  Park Y-J. (Texas Instruments,Dallas,TX,USA) ,  Chung J. (Texas Instruments,Dallas,TX,USA) ,  Krishnan S. (Texas Instruments,Dallas,TX,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IRPS  ページ： 1-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ラインにおける電流密度の仕様のための設計規則は,可能な故障メカニズムを考慮することによって駆動される。大きな振幅の間欠電流パルスの下で,熱応力は破壊の支配的原因であり,主要な破壊機構は金属線または誘電体破壊の繰返し疲労と塑性ラチェッティングである。本研究では,十分に分離した電流パルス下のアルミニウムまたは銅相互接続と二酸化ケイ素誘電体を有するBEOL構造を,有限要素シミュレーションを通して数値的に研究した。デューティサイクル,ピーク電流密度および線幅の変化の影響を調べた。線疲労は,パッケージ構造の不在における破壊の支配的モードであることが分かった。結果は,電流パルスの線とデューティサイクルにおける温度上昇によって特性化される。閾値は,観察可能な疲労がない1サイクル温度上昇に対して存在することが分かった。アルミニウムと銅線の間の信頼性の比較を行い,銅線がより低い閾値温度上昇を可能にするが,より低い誘電応力を誘起することが観察された。研究結果は,ダイスのピーク電流密度仕様を開発するのに使用できる。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 塑性 ,  熱応力 ,  *誘電体 ,  *信頼性 ,  アルミニウム ,  銅 ,  相互接続 ,  電流密度 ,  金属線 ,  昇温
準シソーラス用語： *パルス電流 ,  ピーク電流 ,  デューティサイクル ,  銅線 ,  有限要素シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 間欠 ,  電流パルス ,  誘電体