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J-GLOBAL ID：202002247410116454   整理番号：20A0647617

マルチビーム角度センサを用いた円筒表面の三次元表面形状測定【JST・京大機械翻訳】

Three-dimensional surface profile measurement of a cylindrical surface using a multi-beam angle sensor

著者 (8件)： Chen Meiyun (School of Automation, Guangdong University of Technology, No. 100 Waihuan Xi Road, Panyu District, Guangzhou, 510006, China) ,  Chen Meiyun (Faculty of Engineering, Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, 113-8656, Japan) ,  Xie Shengli (School of Automation, Guangdong University of Technology, No. 100 Waihuan Xi Road, Panyu District, Guangzhou, 510006, China) ,  Xie Shengli (Guangdong Key Laboratory of IoT Information Technology, Guangzhou, 510006, China) ,  Wu Heng (School of Automation, Guangdong University of Technology, No. 100 Waihuan Xi Road, Panyu District, Guangzhou, 510006, China) ,  Wu Heng (State Key Laboratory of Precision Electronic Manufacturing Technology and Equipment, Guangzhou, 510006, China) ,  Takahashi Satoru (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8904, Japan) ,  Takamasu Kiyoshi (Faculty of Engineering, Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, 113-8656, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 62  ページ： 62-70  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学系における重要な要素である高精度光学非球面及び自由形状表面へのマルチビーム角度センサ(MBAS)の応用を調べるために,角度データから非球面を再構成するためにMBASを用いる方法を示した。MBASはマイクロレンズアレイを有するマルチオートコリメータシステムに基づいており,ビームをいくつかのスポットに分割し,光強度の重心検出を角度測定に変換できる。MBASは,他の方法よりも円周方向走査により曲率範囲問題に対処するように設計され,工作物の回転により引き起こされる傾斜誤差を自動的に除去する。追跡技術を用いて,MBASは光強度の重心測定から焦点位置を自動的に決定できる。これは角度差測定の精度に直接関係する。実験結果は,円筒表面の3D表面プロファイル測定にMBASを用いることの実現可能性を確認した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *三次元 ,  円筒 ,  再構成 ,  角度測定 ,  曲率 ,  オートコリメータ ,  重心 ,  光学系 ,  走査
準シソーラス用語： 凸レンズ ,  光強度 ,  マイクロレンズアレイ ,  非球面 ,  高精度 ,  角度センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 非球面プロファイル ,  円周走査 ,  円筒型平面凸レンズ ,  マルチビーム角度センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： マルチビーム ,  角度センサ ,  表面形状測定