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J-GLOBAL ID：202002248314130762   整理番号：20A0649583

94.92MHz/13.56MHz二重周波数により駆動された窒素プラズマの発光分光法【JST・京大機械翻訳】

The optical emission spectroscopy of nitrogen plasma driven by the 94.92 MHz/13.56 MHz dual-frequency

著者 (5件)： Yuan Qianghua (Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu province, College of Physics and Electronic Engineering, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, People’s Republic of China) ,  Ren Pei (Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu province, College of Physics and Electronic Engineering, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, People’s Republic of China) ,  Liu Shanshan (Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu province, College of Physics and Electronic Engineering, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, People’s Republic of China) ,  Wang Jingjing (Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu province, College of Physics and Electronic Engineering, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, People’s Republic of China) ,  Yin Guiqin (Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu province, College of Physics and Electronic Engineering, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, People’s Republic of China)
資料名： Physics Letters. A  (Physics Letters. A)
巻： 384  号： 12  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0600B  ISSN： 0375-9601  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低圧N_2プラズマを,二重周波数(DF)容量結合プラズマ(CCP)によって得た。高周波(HF)は94.92MHzで,低周波(LF)は13.56MHzであった。測定された発光分光法(OES)を比較することによって,372nmから400nmまでのN_2第二正バンド系(C3Πu-B3Πg)のシーケンス(Δν=2)のために,振動温度Tvと回転温度TRをシミュレーションした。NII(391.4nm)とNIII(394.3nm)の2線強度比法を用いて電子励起温度を診断した。放電ガス圧が200mTorrで,低周波パワーが30Wまたは60Wであるとき,これらの結果は,振動温度Tvには60Wで屈曲点があり,回転温度TRは高周波パワー増加で変化しないことを示した。LFパワーが30Wのとき,HFパワーが増加すると,電子励起温度は減少したが,LFパワーが60Wのとき,一定に増加した。高周波電力が30Wまたは60Wのとき,振動温度Tvは劇的に減少し,回転温度TRは低周波電力の増加によりほとんど変化しなかった。電子励起温度は両方ともLFパワーの増加とともに減少した。高周波電力と低周波数の両方が30Wであるとき,振動温度Tvは最初に増加して,次に減少して,回転温度TRはガス圧力増加によってほとんど変化しなかった。電子励起温度はガス圧の増加とともに減少した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 振動温度 ,  回転温度 ,  LF【周波数】 ,  スペクトルバンド ,  *発光分光法 ,  HF【周波数】 ,  低圧 ,  電力 ,  放電 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： ガス圧 ,  励起温度 ,  容量結合プラズマ ,  *窒素プラズマ ,  *二重周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (2件)： 二重周波数容量結合 ,  発光分光法

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 二重周波数 ,  窒素プラズマ ,  発光分光法