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J-GLOBAL ID:202002248781643996   整理番号:20A0914458

フロントエンドウエハ製造プロセスの性能に及ぼす予備部品サービス測定の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of Spare Parts Service Measures on the Performance of Front-End Wafer Production Process
著者 (4件):
資料名:
巻: 2019  号: WSC  ページ: 2269-2280  発行年: 2019年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フロントエンドウエハ製造プロセスの性能に及ぼす予備部品サービスの影響に関心を持っている。このプロセスは,変動性の差を悪化させるリエントリー流によって特徴付けられる。ボトルネック資源に焦点を合わせた。最初に,予備部品供給チェーンをシミュレーションして,修理分布に対する時間に及ぼす予備部品サービス対策の影響を示した。第二に,この分布を用いてフロントエンドウエハ製造プロセスの性能を評価した。予備部品サービス測度の選択はフロントエンドウエハ製造プロセス性能に高い影響を与えると結論した。この方法論は,予備部品サービス測度に関する意思決定の改善を助けることができた。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (5件):
分類
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符号理論  ,  図形・画像処理一般  ,  専用演算制御装置  ,  医用画像処理  ,  音声処理 
タイトルに関連する用語 (5件):
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