文献

J-GLOBAL ID：202002249009827720   整理番号：20A0698349

有機強誘電体膜を用いた二次元圧力マッピングセンサの作製

Fabrication of two-dimensional pressure mapping sensors based on organic ferroelectric films

著者 (7件)： 松本晋太朗 (東北大 電通研) ,  但木大介 (東北大 電通研) ,  山宮慎 (東北大 電通研) ,  MA Teng (東北大 材料科学高等研) ,  今井裕司 (仙台高専) ,  平野愛弓 (東北大 電通研) ,  庭野道夫 (東北福祉大 感性福祉研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 431(CPM2019 91-109)  ページ： 61-63  発行年： 2020年02月21日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧力の多点計測が可能な圧力マッピングセンサは,人工皮膚等の触覚センサなどへの応用のために開発が進められている。マッピングセンサを生体センサとして機能させるためには,センサにフレキシブル性を持たせることが重要である。近年,開発が進められているマッピングセンサの感圧部分(圧電層)としては,無機系圧電材料を用いたものが主流となっている。しかしながら,無機系材料はフレキシブル性に欠けてしまうため,センサにフレキシブル性を持たせるためには工程数を増やしていく必要がある。そこで我々は,簡便な作製プロセスでフレキシブル性を得ることが可能な有機系圧電材料であるポリフッ化ビニリデン(PVDF)を用いた,フレキシブルな圧力マッピングセンサの開発を行っている。本研究では,溶液塗布ベースの簡便な方法によって成膜形成されたPVDF膜を用いた新奇な構造の圧力マッピングセンサを各種作製し,一次元方向および二次元平面上における圧力変化の検出をそれぞれ試みた。本発表では,作製したこれらのマッピングセンサから得られた応答特性の詳細な解析を行った結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 強誘電体 ,  有機材料 ,  誘電体薄膜 ,  *圧力センサ ,  圧力分布 ,  *触覚センサ ,  圧電材料 ,  柔構造 ,  *ポリフッ化ビニリデン ,  有機強誘電体 ,  *センサ
準シソーラス用語： フレキシブル構造

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (10件)：

• T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, ′′A large-area, flexible pressure sensor matrix with organic field-effect transistors for artificial skin applications,′′ Proc. Natl. Acad. Sci., vol. 101, no. 27, pp. 9966-9970, 2004.
• R. Bao, C. Wang, L. Dong, R. Yu, K. Zhao, Z. L. Wang, and C. Pan, ′′Flexible and Controllable Piezo-Phototronic Pressure Mapping Sensor Matrix by ZnO NW/p-Polymer LED Array,′′ Adv. Funct. Mater., vol. 25, pp. 2884-2891, 2015.
• J. Cui, B. Zhang, J. Duan, H. Guo, and J. Tang, ′′Flexible Pressure Sensor with Ag Wrinkled Electrodes Based on PDMS Substrate,′′ Sensors, vol. 16, no. 2131, 2016.
• H. Kim, S. W. Lee, H. Joh, M. Seong, W. S. Lee, M. S. Kang, J. B. Pyo, and S. J. Oh, ′′Chemically Designed Metallic/Insulating Hybrid Nanostructures with Silver Nanocrystals for Highly Sensitive Wearable Pressure Sensors,′′ ACS Appl. Mater. Interfaces, vol. 10, pp. 1389-1398, 2018.
• M. Kobayashi, K. Tashiro, and H. Tadokoro, ′′Molecular Vibrations of Three Crystal Forms of Poly(vinylidene fluoride),′′ Macromolecules, vol. 8, no. 2, pp. 158-171, 1975.

タイトルに関連する用語 (3件)： 強誘電体膜 ,  マッピング ,  作製