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J-GLOBAL ID：202002249401286474   整理番号：20A2651061

ZnO表面によるエタノールセンシングのパルスジェット技術と組み合わせたHe+LEIS分析【JST・京大機械翻訳】

He⁺ LEIS analysis combined with pulsed jet technique of ethanol sensing by a ZnO surface

著者 (4件)： Suzuki T.T. (National Institute for Materials Science, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan) ,  Adachi Y. (National Institute for Materials Science, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan) ,  Ohgaki T. (National Institute for Materials Science, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan) ,  Sakaguchi I. (National Institute for Materials Science, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 538  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低エネルギーHe+イオン散乱分光法(He+LEIS)をパルスジェット法と組み合わせて,空気に含まれる微量エタノール(EtOH,50ppmv)を感知するZn-ZnO(0001)基板の最外表面を分析した。静止大気圧下のZnOによるEtOHに対するガス検知応答を,He+LEISを作動させるのに十分なバックグラウンド圧力を維持しながら,表面への周期的パルスガスジェット照射によって首尾よくシミュレートした。EtOHに対するガス検知応答はHe+ LEISによって分析された表面組成変化によることが分かった。したがって,EtOHに対するガス検知応答は,酸素イオン吸着を支配する表面上のEtOH関連分子の吸着によって引き起こされる。He+ LEISとパルスジェット技術の組合せは,実際の作動条件におけるガスセンサの最外表面を解析する有用な方法であることが実証された。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体 ,  酸素 ,  *酸化亜鉛 ,  *パルス ,  イオン散乱 ,  ガスセンサ ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： *パルスジェット ,  運転条件 ,  低エネルギー ,  表面組成 ,  イオン吸着 ,  ガス検知 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 低エネルギーHe+イオン散乱 ,  パルスフリージェット ,  半導体ガスセンサ ,  ZnO(0001) ,  エタノール

分類 (3件)： 抗細菌薬の基礎研究  (GW17020S) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnO ,  パルスジェット ,  分析