Sharapov A A について
JSC Molecular Electronics Research Institute, 12/1 Academician Valiev Street, Zelenograd, Moscow, 124460, Russia について
Shamin E S について
JSC Molecular Electronics Research Institute, 12/1 Academician Valiev Street, Zelenograd, Moscow, 124460, Russia について
Shamin E S について
Moscow Institute of Physics and Technology, 9 Institutskiy per., Dolgoprudny, Moscow Region, 141701, Russia について
Skuratov I D について
JSC Molecular Electronics Research Institute, 12/1 Academician Valiev Street, Zelenograd, Moscow, 124460, Russia について
Skuratov I D について
Moscow Institute of Physics and Technology, 9 Institutskiy per., Dolgoprudny, Moscow Region, 141701, Russia について
Gornev E S について
JSC Molecular Electronics Research Institute, 12/1 Academician Valiev Street, Zelenograd, Moscow, 124460, Russia について
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering について
最適化 について
複合体 について
表面粗さ について
利得 について
光集積回路 について
ソフトウェア について
フォトリソグラフィー について
ナノ構造 について
光学部品 について
光損失 について
ラインエッジ粗さ について
固体デバイス製造技術一般 について
フォトニック集積回路 について
光学 について
損失最小化 について
フォトリソグラフィー について
最適化 について
ソフトウェア について
複合体 について
地上 について
問題 について