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J-GLOBAL ID：202002249769537445   整理番号：20A0603602

無酸素Pd/Tiコーティングを利用したフィン型ICFゼロレングス非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプの開発

著者 (6件)： 佐藤裕太 (Yokohama National Univ. (YNU)) ,  菊地貴司 (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK)) ,  宮澤徹也 (Graduate Univ. for Advanced Studies (SOKENDAI)) ,  大野真也 (Yokohama National Univ. (YNU)) ,  間瀬一彦 (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK)) ,  間瀬一彦 (Graduate Univ. for Advanced Studies (SOKENDAI))
資料名： 日本加速器学会年会(Web)  (日本加速器学会年会プロシーディングス(Web))
巻： 16th  ページ： ROMBUNNO.FRPH017 (WEB ONLY)  発行年： 2019年 
JST資料番号： U0092A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ゲッタリング ,  *ゲッタポンプ ,  パラジウム ,  チタン ,  金属薄膜 ,  被覆 ,  焼成
準シソーラス用語： *非蒸発性ゲッタ ,  *排気速度 ,  排気量

分類 (2件)： 加速器一般及び理論  (BE02010M) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (9件)： Pd ,  Ti ,  コーティング ,  フィン ,  ICF ,  レングス ,  蒸発 ,  ゲッター ,  開発