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J-GLOBAL ID：202002251633676128   整理番号：20A2276482

配置したAlNセンサ-アクチュエータ対を有するAFMマイクロカンチレバー:動的イメージングのための効率的なQ制御を可能にする【JST・京大機械翻訳】

AFM Microcantilever With a Collocated AlN Sensor-Actuator Pair: Enabling Efficient Q-Control for Dynamic Imaging

著者 (3件)： Mahdavi Mohammad (Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Nikooienejad Nastaran (Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Moheimani S. O. Reza (Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29  号： 5  ページ： 661-668  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この原稿は,動的原子間力顕微鏡(AFM)のための埋込圧電センサ-アクチュエータ対を有する新規マイクロカンチレバーを提示する。変換器対を二層AlNスタックから構築した。この方法で圧電変換器を積み重ねることは,動作からセンス電極への最小フィードスルーをもたらし,動的モードAFMに対する高いダイナミックレンジ周波数応答を与える。カンチレバーの設計は,1次および2次共鳴モードで二重モード動作を可能にした。高分解能タッピングモードイメージング結果を報告し,カンチレバーをこれらのモードで操作した。フィードバック制御ループを用いて,正位置フィードバック(PPF)制御器を用いて,カンチレバーの1次モードの品質因子を修正した。高速応答時間はQ因子を減らすことによって達成され,カンチレバーはより高い走査速度でトポグラフィーを追跡することができる。表面トポグラフィーの1次モードの振幅変化を用いて,2次モードの相変化で材料特性を符号化する二峰性AFMイメージングの結果を報告した。[2020-0096]。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 周波数応答 ,  相転移 ,  *片持梁 ,  *画像処理 ,  Q値 ,  ダイナミックレンジ ,  *窒化アルミニウム ,  高分解能 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 品質因子 ,  共振モード ,  圧電変換器 ,  デュアルモード ,  高速応答 ,  走査速度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： AlN ,  アクチュエータ ,  AFM ,  マイクロカンチレバー ,  動的イメージング