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J-GLOBAL ID：202002252511942604   整理番号：20A2323877

湿度センサ応用のためのMEMS共振器の設計,モデリングとシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Design, Modeling and Simulation of MEMS Resonator for Humidity Sensor Application

著者 (3件)： Mutharpavalar Ashaashvini (Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610) ,  Ahmed A. Y. (Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610) ,  Mohd Nor Nursyarizal (Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： SAS  ページ： 1-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 湿度センサは,産業と同様に日常生活で重要な役割をする。相対湿度測定の応用のための互換性のあるデバイスを持つために,湿度センサは小型,低電力消費,低コスト,高性能で製作しなければならない。微小電気機械システム(MEMS)湿度センサはよく開発され,高効率である。しかし,それは高い減衰係数と低い感度のような問題がある。したがって,本研究では,湿度検出のためのMEMS共振器センサの設計,解析モデリングおよびシミュレーションに焦点を当てた。ばね定数,共振周波数,空気減衰,品質因子および質量感度のようなデバイス特性を調べるために,デバイスの挙動をモデル化し,有限要素解析(FEA)シミュレーションを通してそれを最適化する数学的方程式を検討した。装置は標準PolyMUMPプロセス技術に基づいて設計した。電気熱作動法を用いて,出力電圧を測定するために,デバイスと容量センシング技術を作動させた。ばね定数と共振周波数に対するビームの長さと幅の変化の影響を調べた。梁の長さが増加して,ビームの幅が増加するとき,スプリング定数は減少することがわかった。一方,梁の幅が増加するとき,長さが増加し,増加するとき,共振周波数は減少することがわかった。空気減衰の影響も調べた。穴の数および穴の半径が増加するとき,減衰係数が減少することがわかった。周波数の解析とシミュレーション結果は,0.04~1.23%のパーセント差内で良好な一致を示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  *シミュレーション ,  互換性 ,  相対湿度 ,  *湿度 ,  ばね定数 ,  センサ ,  共振周波数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  高効率 ,  品質因子 ,  低電力化 ,  出力電圧 ,  *MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  音声処理  (JE05000E) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  符号理論  (ND02030R) ,  NMR一般  (BM07041R)

タイトルに関連する用語 (6件)： 湿度センサ ,  応用 ,  MEMS共振器 ,  設計 ,  モデリング ,  シミュレーション