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J-GLOBAL ID：202002257643075468   整理番号：20A2445877

超薄膜センサとしてのマイクロ波ダイヤモンドベースHBAR Pt蒸着【JST・京大機械翻訳】

Microwave Diamond-based HBAR as Ultrathin Film Sensor. Pt Deposition

著者 (7件)： Sorokin Boris (Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia) ,  Kvashnin Gennady (Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia) ,  Asafiev Nikita (Moscow Institute of Physics and Technology,Dolgoprudny, Moscow Region,Russian Federation) ,  Kravchuk Konstantin (Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia) ,  Luparev Nikolay (Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia) ,  Kvashnin Gennady (Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia) ,  Sotnikov Andrey (Leibniz Institute for Solid State and Materials Research,Dresden,Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IFCS-ISAF  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド系HBARの官能特性をAl,Sc,MoおよびPtの薄膜および超薄膜の堆積によって調べた。最初に,比較的高いQ因子を持つセンサの動作周波数~20GHzを,相対測定誤差を減らし,感度を増加させる目的で適用した。Pt膜堆積に対する感度は0.5nmと見積もられた。倍音の周波数シフト対膜厚の依存性は線形比例とは異なった。このような特異性を膜とダイヤモンド基板の間の音響インピーダンス差の観点から説明した。実験結果はFEMモデルデータとほぼ一致した。開発した官能要素のプロトタイプは,20GHzまでのSHFバンド,作動ダイヤモンド表面の高い化学的及び生物学的不活性,温度負荷に対する抵抗,アブレシブ摩耗抵抗及び多重時間応用の可能性により,他の全てのタイプの音響電子センサに対して重要な利点を有した。調査したダイヤモンドベース5層圧電構造は,多数の新世代センサを生成する有望なプラットフォームとして考慮されるべきである。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 音響インピーダンス ,  *薄膜 ,  *マイクロ波 ,  *ダイヤモンド ,  音響 ,  *白金 ,  圧電気 ,  多重化 ,  Q値 ,  周波数シフト ,  *蒸着 ,  倍音 ,  アブレシブ摩耗 ,  *超薄膜
準シソーラス用語： 動作周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜センサ ,  マイクロ波 ,  ダイヤモンド ,  Pt ,  蒸着