文献

J-GLOBAL ID：202002258386267069   整理番号：20A0743192

SEMのための矩形断面を持つ試験物体:2.溝幅の認証【JST・京大機械翻訳】

Test Objects with a Rectangular Profile for SEM: 2. Certification of the Groove Width

著者 (1件)： Novikov Yu. A. (Prokhorov Institute of General Physics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia)
資料名： Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques  (Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques)
巻： 14  号： 1  ページ： 105-116  発行年： 2020年 
JST資料番号： W4669A  ISSN： 1027-4510  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン中の矩形プロフィルを持つレリーフ溝の幅を保証する手順を述べた。それは2つの操作から成る。第一の操作は,単結晶シリコン基板上のシリコン酸化物膜の厚さをエリプソメトリにより測定することにある。第二の操作は溝側壁の表面上の自然酸化ケイ素を復元した後の溝幅の変化を決定することにある。走査型電子顕微鏡法による天然のシリコン-酸化物層の厚さを測定するための手順を記述した。Copyright Pleiades Publishing, Ltd. 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ケイ素 ,  酸化層 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  酸化ケイ素 ,  *認証 ,  酸化膜 ,  矩形断面 ,  偏光解析法
準シソーラス用語： 走査電子顕微鏡法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： テストオブジェクト ,  認証 ,  エリプソメトリー ,  自然酸化けい素 ,  走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： SEM ,  矩形断面 ,  試験 ,  物体 ,  溝幅 ,  認証