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J-GLOBAL ID：202002259753712747   整理番号：20A2490804

硬軟積層構造によるDLC膜の厚膜化に関する研究

A Study of Film Thickening of DLC Films by Hard and Soft Laminated Structure

著者 (2件)： 中村雅史 (茨城大) ,  柴田康宏 (茨城大 大学院)
資料名： 日本機械学会関東支部・精密工学会・茨城大学工学部茨城講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 28th  ページ： ROMBUNNO.713  発行年： 2020年08月21日 
JST資料番号： X0829B  ISSN： 2424-2683  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC膜は表面潤滑性に優れ,高硬度で優れた耐摩耗性を有していることから,現在様々な分野で実用化が進められている.DLC膜の耐摩耗性をさらに向上させる方法として,厚膜化が挙げられる.しかし,DLC膜を厚膜化すると,残留応力が増加し,割れや剥離が発生しやすくなる.そこで,本研究ではDLC膜の残留応力を低減させて厚膜化させる方法を検討した.すなわち,残留応力の小さい軟質DLC膜と耐摩耗性に優れる硬質DLC膜を積層させた積層構造DLC膜を作製し,残留応力と摩擦摩耗特性を評価した.(著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *厚膜 ,  *積層構造 ,  性質 ,  硬度 ,  耐摩耗性 ,  残留応力 ,  亀裂 ,  層間剥離 ,  特性 ,  摩耗特性
準シソーラス用語： 割れ ,  高硬度 ,  潤滑性 ,  層剥離 ,  摩擦特性

分類 (5件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  潤滑法  (QB02020D) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 積層構造 ,  DLC膜 ,  厚膜 ,  研究