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J-GLOBAL ID：202002261176321357   整理番号：20A2129291

繊維状ナノ構造表面を有するWO_3膜の水素ガス検出性能の改善【JST・京大機械翻訳】

Improved hydrogen gas sensing performance of WO₃ films with fibrous nanostructured surface

著者 (6件)： Kimura Yoshihiro (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Ibano Kenzo (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Uehata Kenya (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Hirai Issei (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Tae Lee Heun (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Ueda Yoshio (Graduate School of Engineering, Osaka University, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 532  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ヒューズとして知られる特徴的な繊維状ナノ構造は,ある温度で金属表面のヘリウムプラズマ曝露により形成される。触媒とセンサへのHe誘起ナノ構造の応用は,その著しく増大した表面積のために有望である。本研究では,繊維状ナノ構造を有するWO_3薄膜を調製し,水素ガスを追跡する半導体型ガスセンサとしての性能を評価した。100ppm水素ガス流と乾燥空気流中の表面上の電極間の電気抵抗率の変化を,200°Cから400°Cの試料温度で測定した。平面WO_3膜センサに比べて顕著な感度改善が,ファジーWO_3膜センサで観察された。99.5%の最高応答は300°Cの周囲温度で達成された。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  薄膜 ,  半導体 ,  *水素 ,  ヘリウム ,  ヒューズ ,  酸化タングステン ,  センサ ,  乾燥空気 ,  ガスセンサ ,  曖昧さ ,  *ナノ構造 ,  プラズマ曝露 ,  金属表面 ,  *水素ガス

著者キーワード (4件)： 酸化タングステン ,  ヘリウム誘起ナノ構造 ,  プラズマ曝露 ,  水素ガスセンサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 繊維状ナノ構造 ,  水素ガス ,  検出性能