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J-GLOBAL ID：202002261230893636   整理番号：20A0916375

色測定センシングのためのナノ共振器結合プラズモン構造の新しい作製プロセス【JST・京大機械翻訳】

A Novel Fabrication Process of Nano-Cavity Coupled Plasmonic Structures for Colormetric Sensing

著者 (5件)： Zhu Jia (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University,Beijing,P.R. China,100871) ,  Huang Yun (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University,Beijing,P.R. China,100871) ,  Zhang Kenan (College of Physics and Information Engineering, Fuzhou University,Fujian,P.R. China,350108) ,  Lin Guanzhou ,  Wu Wengang (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University,Beijing,P.R. China,100871)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 1167-1170  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 代表的なプラズモン系として金属-絶縁体-金属(MIM)多層構造が広く研究されている。このような系では,金属表面は束縛表面プラズモンポラリトン(SPP)を維持し,誘電体空洞中のSPPを結合できる。ここでは,電子線リソグラフィー(EBL)とそれに続く金の電気めっき堆積に基づく新しい作製プロセスを開発し,縦金属-空気-金属構造を形成した。この構造は金ピラーのアレイによって支持された金の懸垂されたトップ膜と底の極薄金膜から成っている。二つの金膜のギャップが界面モードの減衰長さに匹敵するか小さい場合には,SPP間の相互作用により結合モードが生じる。これは光を強い場の閉込めと軽い物質の相互作用のために絶縁層に局在化できる。この構造は,通常の入射光において振動反射色を示し,ナノ空洞における異なる物質充填により変化する顕著な色を示した。感度は269.8nm/RIUに達することができ,視覚的およびリアルタイムの生化学的検出のための大きな可能性を提供する。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  視覚 ,  相互作用 ,  *プラズモン ,  誘電体 ,  金 ,  電気めっき ,  多層構造 ,  電子ビームリソグラフィー ,  *微小共振器 ,  絶縁体
準シソーラス用語： 金属表面 ,  ナノキャビティ ,  金膜 ,  表面プラズモンポラリトン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 色測定 ,  センシング ,  ナノ共振器 ,  プラズモン ,  作製 ,  プロセス