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J-GLOBAL ID：202002261403861048   整理番号：20A1525004

異なるガス圧力での二重周波数円筒ICP源における放電アンテナターンとEEPFおよびプラズマパラメータの変調の最適化【JST・京大機械翻訳】

Optimization of discharge antenna turn and modulation of EEPFs and plasma parameters in dual-frequency cylindrical ICP source at different gas pressures

著者 (4件)： Hua Yue (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams, Dalian University of Technology, Ministry of Education, Dalian 116024, China) ,  Hao Zeyu (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams, Dalian University of Technology, Ministry of Education, Dalian 116024, China) ,  Ren Chunsheng (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams, Dalian University of Technology, Ministry of Education, Dalian 116024, China) ,  Song Jian (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams, Dalian University of Technology, Ministry of Education, Dalian 116024, China)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 128  号： 1  ページ： 013301-013301-15  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,主にプラズマパラメータ[プラズマ密度n_e,有効電子温度T_eff,プラズマポテンシャルV_p,パワー伝達効率η,および電子エネルギー確率関数(EEPF)]に及ぼすNの影響を,円筒誘導結合プラズマ(ICP)源におけるプラズマパラメータ[プラズマ密度n_e,有効電子温度T_eff,プラズマポテンシャルV_p,電力伝達効率η,および電子エネルギー確率関数(EEPF)]に含め,主に,円筒二重周波数(DF)ICPsにおける非インタリーブおよびインターリーブアンテナ配置を参照して,n_eの軸方向および半径方向分布を比較した。インターリーブアンテナ配列を有する円筒形DF-ICPは,高周波(HF)および低周波(LF)放電領域の重ね合わせ効果により,より高いn_eを生成することができることを見出した。さらに,上記の最適化パラメータに基づいて,インターリーブアンテナ配列を有する最適化円筒DF-ICPを採用し,(1)固定HF電力と付加的LF電力と(2)固定LF電力と,対応するHF電力の変化の場合のEEPFsとプラズマパラメータ(n_e,T_eff,V_p)の変調を,1,15と60mTorrの異なるガス圧で系統的に研究し,比較した。2および13.56MHzの2つの放電周波数と組み合わせた1から60mTorrまでの広いガス圧力範囲で,DF放電は,電子加熱機構,例えば,衝突無しおよび衝突加熱に関して,異なる条件下で放電維持をカバーした。これは円筒DF-ICPsに関する比較的包括的な研究であり,それは円筒DF-ICPの設計およびプラズマパラメータ変調にいくつかの洞察を提供するであろう。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *最適化 ,  電子温度 ,  プラズマ密度 ,  *放電 ,  電力 ,  HF【周波数】 ,  *プラズマパラメータ ,  LF【周波数】 ,  重合せ ,  誘導結合プラズマ ,  インタリーブ ,  電力効率
準シソーラス用語： プラズマ電位 ,  電子エネルギー ,  *二重周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (8件)： ガス圧力 ,  二重周波数 ,  ICP ,  放電 ,  アンテナ ,  プラズマパラメータ ,  変調 ,  最適化