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J-GLOBAL ID：202002261647444547   整理番号：20A2622816

自由境界を有する圧電微細加工超音波変換器(pMUT)【JST・京大機械翻訳】

Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT) with Free Boundary

著者 (2件)： Pala Sedat (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California,Department of Mechanical Engineering,Berkeley,CA,USA) ,  Lin Liwei (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California,Department of Mechanical Engineering,Berkeley,CA,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,新しい圧電マイクロマシン超音波変換器(pMUT)設計の理論解析と有限要素シミュレーションを示した。自由境界条件を有するpMUTを初めて導入し,固定境界の従来のpMUTと比較した。同じ変換器寸法に対して,提案した設計は,自由端による機械的静電容量の増加による従来の固定境界設計と比較して,2.5x以上の電気機械結合係数を有した。ディスクの下の空洞は音響共振器として振舞う。機械的および音響共鳴の周波数を整合することにより,自由境界pMUTの分数帯域幅は固定境界設計に比べて13xの分数帯域幅を有した。さらに,微細加工中に生成した内部応力は自由端で解放されることが期待される。これらの結果は,自由pMUTが高性能超音波変換器応用の可能性を有することを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 円板 ,  音響共振器 ,  内部応力 ,  変換器 ,  *超音波変換器 ,  *圧電気 ,  境界条件 ,  静電容量 ,  帯域幅 ,  *微細加工 ,  マイクロマシン
準シソーラス用語： 自由端 ,  理論解析 ,  有限要素シミュレーション ,  音響共鳴 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電 ,  微細加工 ,  超音波変換器