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J-GLOBAL ID:202002264187462584   整理番号:20A2474853

誘導酸素放電における電子エネルギー分布に対する電子付着と脱離反応の効果の実験的観測【JST・京大機械翻訳】

Experimental observation of the effect of electron attachment and detachment reactions on the electron energy distribution in an inductive oxygen discharge
著者 (4件):
資料名:
巻: 27  号: 10  ページ: 103506-103506-8  発行年: 2020年 
JST資料番号: T0641B  ISSN: 1070-664X  CODEN: PHPAEN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Electronエネルギー分布関数(EEDFs)を,酸素誘導放電における高周波(RF)電力を変えて測定した。10mTorrの圧力で,EEDFはMaxwell分布を持ち,低エネルギー(1-5eV)電子温度,T_e,低,はRFパワーと共に単調に減少した。しかし,100mTorrの圧力で,T_eは,低RF出力(80-150W)で増加し,高RF電力(150-300W)で減少し,EEDFはDruyveteyn様分布を有した。T_e,lowのこれらの変化は電子付着と脱離反応に起因し,これは負イオンの主な生成と損失反応である。T_e,低および衝突反応の間のこの関係を調べるために,いくつかの反応係数を計算し,電気陰性度(α)をRF出力を変えて測定した。EEDFは電子付着と脱離反応によって修飾され,T_e,lowの変化をもたらす。EEDFのこの修飾は計算した反応係数と測定したαによって支持された。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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