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J-GLOBAL ID：202002265300871344   整理番号：20A2276554

SiN微小熱量計と温度キャリブレーションの非接触精密法【JST・京大機械翻訳】

A SiN Microcalorimeter and a Non-Contact Precision Method of Temperature Calibration

著者 (4件)： Ni Sheng (Department of Electronic and Computer Engineering, The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong) ,  Zhu Hanliang (School of Mechanical Engineering, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Neuzil Pavel (School of Mechanical Engineering, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Yobas Levent (Department of Electronic and Computer Engineering, The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29  号： 5  ページ： 1103-1105  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重チャネルフロースルーマイクロカロリメータ装置を,温度キャリブレーションの非接触精度法と共に提示した。螺旋レイアウトにおける550pLの体積を有するマイクロ流体チャネルを,シリコン基板の空洞上に懸濁した低応力窒化物から作製した。チャネル上の薄膜ヒータと抵抗温度検出器(RTD)をパターン化Ti層によって定義した。素子は,次の熱的特性,すなわち,10.5msの時定数,≒152Ω≦μ||W.~K{-{1}の熱伝導,および同じウエハ上に作製した9つの分離ユニットの測定に基づく平均約1.6≦εμJ.K{1}の熱容量を有する迅速な熱応答を示した。。”その素子は,同じウエハ上に作製した9つの分離ユニットの測定に基づいて,平均で,約152×μJ.K{-{1}の熱容量と,約1.6Ω≦μJ.K{-{1}の熱容量を示した。さらに,二重鎖DNAの融解曲線分析(MCA)を,マイクロカロリメータRTDキャリブレーションの非接触法として提案した。方法は,RTDによる測定がチャネル内部温度を9mWでほぼ15%まで過小評価することを明らかにした。この散逸電力レベルにおいて,この方法はまた,マイクロカロリメータを横切る±0.8°Cの空間的不均一性を明らかにした。[2020-0173]Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 懸濁液 ,  熱伝導 ,  熱容量 ,  薄膜 ,  加熱器 ,  窒化物 ,  熱特性 ,  内部温度 ,  熱応答 ,  パターン形成 ,  *微量熱量計 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  二本鎖DNA ,  非接触 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： SiN ,  微小熱量計 ,  キャリブレーション ,  非接触