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J-GLOBAL ID：202002266156391038   整理番号：20A2662539

エッチングにおける溶融シリカ上のスクラッチのレーザ損傷と発展法則【JST・京大機械翻訳】

Laser damage and evolution law of scratches on fused silica in etching

著者 (8件)： Lei Xiangyang (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zheng Nan (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Chen Xianhua (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zhou Lian (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Xu Xi (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zhang Qinghua (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Wang Jian (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Yuan Zhigang (China Academy of Engineering Physics (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11568  ページ： 115680D-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 使用シリカ光学素子は,それらの良好な光学的および機械的特性のため,高出力レーザシステムにおいて広く使用されてきた。しかし,表面/表面下のスクラッチのような欠陥は,光学部品の過程において必然的に発生する。それはレーザ損傷閾値に影響を及ぼす。レーザ放射の性能に対する欠陥の影響をシミュレートするために,化学エッチングにおけるスクラッチの進展則を事前に定義しなければならない。スクラッチの影響を決定するために,要素表面に特定のスクラッチを発生させるために用いた表面スクラッチ装置とその形態を特性化し,損傷試験を行った。化学的加工中のスクラッチの形態および特性を解析し,それらの蛍光効果を記録することにより,スクラッチの幅がエッチング深さと共に増加し,レーザ損傷抵抗が徐々に改善されることが明らかになった。同時に,異なる特性の初期欠陥を明らかにし,化学エッチングにおける発展率は一致せず,レーザ損傷に抵抗する能力への影響は異なった。一般に,スクラッチ欠陥はレーザ損傷に対するデバイスの抵抗を著しく損なう。スクラッチのない部品の損傷閾値が約23J/cm2のとき,欠陥位置の損傷閾値は5J/cm2以下であった。標的化学処理プロセスを通して,youは,スクラッチのないレベルに対して,ほとんどのスクラッチ損傷の閾値を増加させることができた。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  機械的性質 ,  蛍光 ,  化学的加工 ,  *二酸化ケイ素 ,  *石英ガラス ,  レーザビーム ,  高出力レーザ ,  光学素子 ,  *レーザ損傷 ,  ターゲティング ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 光学部品 ,  *スクラッチ ,  レーザ損傷閾値 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： エッチング ,  溶融シリカ ,  スクラッチ ,  レーザ損傷 ,  発展 ,  法則