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J-GLOBAL ID：202002266246143135   整理番号：20A2096190

高感度・高ダイナミックレンジを実現する集積化ハイブリッドMEMS水素センサ

Integrated Hybrid MEMS Hydrogen Sensor with High Sensitivity and High Dynamic Range

著者 (7件)： 林裕美 ((株)東芝 研究開発センター) ,  山崎宏明 ((株)東芝 研究開発センター) ,  増西桂 ((株)東芝 研究開発センター) ,  小野大騎 ((株)東芝 研究開発センター) ,  齋藤友博 ((株)東芝 研究開発センター) ,  中村直文 ((株)東芝 研究開発センター) ,  小島章弘 ((株)東芝 研究開発センター)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 140  号： 7  ページ： 158-164(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文は,5ppmから100vol%までの範囲で水素を検出する集積化ハイブリッドMEMS水素センサについて議論する。このセンサは,同じプロセスフローを用いて同時に製造できる容量型と熱伝導型の水素センサの両方からなる単一チップである。容量型センサはヒーターなしで5ppmの低い濃度で水素を検出した。熱伝導型センサは高水素濃度を測定し,電力消費が数十ミリワットと低かった。この集積化ハイブリッドMEMS水素センサは高いガス選択性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  水素 ,  *MEMS ,  *集積 ,  濃度測定 ,  選択性 ,  高感度 ,  ダイナミックレンジ
準シソーラス用語： *水素センサ ,  *集積化ハイブリッドMEMS水素センサ ,  容量センサ ,  熱伝導型センサ ,  水素濃度測定 ,  ガス選択性 ,  高ダイナミックレンジ

著者キーワード (12件)： - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  -

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  混成集積回路  (NC03163K)

引用文献 (26件)：

• (1) 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構:「NEDO水素エネルギー白書」(2014)
• (2) M. Simren and P-O. Stotzer : “Use and abuse of hydrogen breath tests”, Gut, Vol. 55, pp. 297-303 (2006)
• (3) H. Aoki and M. Kagaya : “Examination of the breakfast contents based on the breath hydrogen analysis”, Journal for the integrated study of dietary habits, Vol. 25, No. 2, pp. 93-100 (2014) (in Japanese)
• 青木ひかる・加賀谷みえ子:「呼気中水素分析による朝食内容の検討」, 日本食生活学科誌, Vol. 25, No. 2, pp. 93-100 (2014)
• (4) Storage Battery Systems, LLC, SBS-H2 Hydrogen Gas Detector

タイトルに関連する用語 (5件)： 高感度 ,  高ダイナミックレンジ ,  集積化 ,  MEMS ,  水素センサ