文献

J-GLOBAL ID：202002266560260646   整理番号：20A2710132

高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより作製したVO_2薄膜のサーモクロミック特性に及ぼすデューティサイクルの影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of duty cycle on the thermochromic properties of VO₂ thin-film fabricated by high power impulse magnetron sputtering

著者 (4件)： Juan Pi-Chun (Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan) ,  Lin Kuei-Chih (Department of Electronic Engineering, Ming Chuan University, Taoyuan 333, Taiwan) ,  Lin Cheng-Li (Department of Electronic Engineering, Feng Chia University, Taichung 407, Taiwan) ,  Lin Wei-Fan (Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 38  号： 6  ページ： 063403-063403-9  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを用いてサーモクロミックVO_2薄膜を作製した。サーモクロミック特性に及ぼすオン/オフ時間比の異なるデューティサイクルの影響を調べた。デューティサイクルが減少すると透過率は増加するが,中程度のデューティサイクルを示唆した。V_2O_3結晶度は低いデューティサイクルで現れるが,TiO_2とVO_2層間の相互拡散は高いデューティサイクルで悪くなることが分かった。本研究では,VO_2/TiO_2/ガラス積層構造は太陽制御効率(ΔT_sol=9.5%)と,2.5%のデューティサイクル下の低温状態で適用可能な発光透過率(T_lum=43.1%)に達する。x線回折パターンで示された単斜晶相の結晶挙動を,さらに高分解能透過型電子顕微鏡により調べた。V2pとO1s軌道の結合エネルギーの変化を膜を通して比較した。TiO_2厚さの関数としてサーモクロミック特性も議論した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガラス ,  結合エネルギー ,  相互拡散 ,  太陽 ,  低温 ,  *薄膜 ,  発光 ,  結晶度 ,  単斜晶系 ,  透過率 ,  積層構造
準シソーラス用語： HRTEM ,  回折パターン ,  *デューティサイクル ,  高出力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  薄膜 ,  デューティサイクル