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J-GLOBAL ID:202002266756910313   整理番号:20A1118624

銅膜の破壊靱性に及ぼす薄い表面酸化層の影響

Influence of a thin surface oxide layer on fracture toughness of copper films
著者 (4件):
資料名:
巻: 2019  ページ: 1010B1115(J-STAGE)  発行年: 2019年 
JST資料番号: U1254A  ISSN: 2424-2837  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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金属材料 
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